超精密直驱转台产品介绍
超精密直驱转台产品介绍
  微泓®为用户提供超精密直驱转台产品,包括直驱伺服电机(Direct-Drive)驱动的气浮直驱转台和配套超精密伺服驱动器(mPT-MD-UP系列)。
   超精密直驱转台包括精密级(P系列)和超精密级(UP系列)。P系列超精密直驱转台采用自主研发的直驱无齿槽伺服电机。
   GR-P系列超精密直驱转台配套超精密伺服驱动器mPT-MD-UP系列驱动器,GR-UP系列超精密直驱转台配套专用驱动器mPT-MD-UP-ETO。运动控制器可选用微泓®的EtherCAT运动控制器,用户也可自选EtherCAT总线控制器,给予客户更多的配置空间。
  微泓®的超精密气浮直驱转台可广泛应用于精度测量,纳米计量,高精度硅片检测,液晶平板精密检测,Nano-Xray绕射,光学元件检测,超精密加工机床等领域。
超精密直驱转台、驱动器与控制器配置构架
 

超精密直驱转台与伺服驱动器汇总表
气浮型机械直驱转台产品一览表
超精密直驱转台产品通用技术规格

服务热线

021-34721702

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