mPT-GL-H系列 | H型两维气浮精密运动平台

所属类别:DDL定制直驱直线运动平台

产品名称:mPT-GL-H系列 | H型两维气浮精密运动平台

产品标签:mPT-GL-H系列 | H型两维气浮精密运动平台

更新时间:2020/8/9 17:35:10

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◼ 运动行程300-1000mm
◼ 定位精度1μm
◼ 重复定位精度0.5μm
◼ X-Y正交误差1arc-sec
◼ 负载30-120kg
◼ 300,500,750,1000四种规格

  mPT-GL-H系列产品是采用微泓自主研发的无铁芯直线电机驱动的H型二维精密直线运动平台。其运动行程300x300mm、500x500mm、750x750mm、1000x1000mm,定位精度±0.5μm,重复定位精度±0.1μm,负载120kg,分辨率10nm。 mPT-GL-H系列定位平台采用静压气体轴承作为导向支承,气浮模块的大气膜面设计保证气浮导轨的刚度,提高定位平台的承载能力。气膜分布的均化效应,减小定位平台的俯仰、滚动和偏航误差,以及直线度和平面度误差。同时采用在垂直和水平表面布置空气-空气预载方式,高性能气浮垫和整体气浮模块两种形式可供选择。X轴采用双气浮模块、双直线电机驱动以及双直线光栅反馈。其与单驱的Y轴构成H型龙门架机械构型,X、Y轴的共面设计,减小了定位平台的耦合误差。
Units H300 H500 H750 H1000
运动行程/Travel mm 300×300 500×500 750×750 1000×1000
分辨率/Resolution nm 10 10 10 10
重复定位精度/Repeatabil μm ±0.1 ±0.1 ±0.2 ±0.2
定位精度/Accuracy μm ±0.5 ±0.75 ±0.85 ±1.0
平面度/Flatness of Travel μm ±0.5 ±1.5 ±2 ±2.5
直线度/Straightness of Travel μm ±0.5 ±1.5 ±2 ±2.5
正交性/Orthogonality arc-sec 1 1 1 1
俯仰,滚动,偏航误差/Pitch, Roll and Yaw arc-sec ±2 ±3.5 ±4.5 ±5.5
最大加速度/Max. Acceleration 9.8m/s2 1 1 1 1
最大速度/Max. Speed mm/s 1000 1000 1000 1000
平均速度波动/Average Speed Ripple % 10 10 10 10
位置稳定性/Position Stability counts 2 2 2 2
最大负载/Max. Load Capacity kg 30 30 120 120
注:产品技术规格中的性能参数仅供用户参考,应以微泓的测试环境和控制器下的测试结果为准。

产品大类 支承类型 驱动构型 行程大小 反馈信号类型 限位类型
mPT GL H 300 LA NC
500 LD NO
解释
微米级定位产品 气浮导向 H型 300×300mm 直线光栅,模拟量输出 常闭触点
500×500mm 直线光栅,数字量输出 常开触点
订货举例:mPT-GL-H300300-LA-NC
我们将根据用户的应用需求,提供控制器与驱动器的配置建议。

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