mPT-SL-S系列 | 机械导向直驱直线运动平台

所属类别:DDL定制直驱直线运动平台

产品名称:mPT-SL-S系列 | 机械导向直驱直线运动平台

产品标签:mPT-SL-S系列 | 机械导向直驱直线运动平台

更新时间:2020/8/9 17:34:02

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◼ 运动行程100-450mm
◼ 定位精度±1μm
◼ 重复定位精度0.5μm
◼ 负载100kg
◼ 100,200,300和450四种规格


  mPT-SL-S系列产品结构紧凑,采用微泓自主研发的无铁芯直线电机驱动的精密直线运动平台。其运动行程100-450mm,定位精度±1μm,重复定位精度±0.5μm,负载100kg,分辨率0.1/0.05nm。mPT-SL-S定位平台利用无铁芯直线电机驱动和高性能机械滚动导轨支承,可以广泛应用在激光加工、3D打印、半导体测试和电子制造等领域。

Units S100 S200 S300 S450
运动行程/Travel mm 100 200 300 450
分辨率/Resolution μm 0.1/0.05 0.1/0.05 0.1/0.05 0.1/0.05
重复定位精度/Repeatabil μm 0.5 0.5 0.5 0.5
定位精度/Accuracy μm ±1 ±1 ±1 ±1
平面度/Flatness of Travel μm/100mm ±5 ±5 ±5 ±5
直线度/Straightness of Travel μm/100mm ±3 ±3 ±3 ±3
俯仰,滚动,偏航误差/Pitch, Roll and Yaw arc-sec ±6 ±8 ±10 ±14
最大加速度/Max. Acceleration 9.8m/s2 2.5 2.5 2.5 2.5
最大速度/Max. Speed mm/s 1200 1600 2000 2000
位置稳定性/Position Stability kg 100 100 100 100
平台质量/Stage Weight kg 20.5 24.5 28 32
注:产品技术规格中的性能参数仅供用户参考,应以微泓的测试环境和控制器下的测试结果为准。

产品大类 支承类型 驱动构型 行程大小 反馈信号类型 限位类型
mPT SL S 100 LA NC
200 LD NO
解释
微米级定位产品 机械轴承 单电机驱动 100mm 直线光栅,模拟量输出 常闭触点
200mm 直线光栅,数字量输出 常开触点
订货举例:mPT-SL-S100-LA-NC
我们将根据用户的应用需求,提供控制器与驱动器的配置建议。

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