mPT-SL-ZW系列 | 机械导向直驱楔形垂直运动平台

所属类别:DDL定制直驱直线运动平台

产品名称:mPT-SL-ZW系列 | 机械导向直驱楔形垂直运动平台

产品标签:mPT-SL-ZW系列 | 机械导向直驱楔形垂直运动平台

更新时间:2020/8/9 17:30:42

上一个产品: mPT-GL-S系列 | 气浮导向直驱直线运动平台

下一个产品:mPT-GL-ZD系列 | 气浮导向直驱垂直运动平台

◼ 运动行程5-15mm
◼ 定位精度±50nm
◼ 重复定位精度±20nm
◼ 负载20kg
◼ 分辨率1nm
◼ 5,10,15三种规格

  mPT-SL-ZW系列产品结构紧凑,采用微泓自主研发的无铁芯直线电机驱动的垂直精密运动平台。其运动行程5-15mm,定位精度±50nm,重复定位精度±20nm,负载20kg,分辨率1nm。mPT-SL-ZW系列产品可实现纳米级垂直运动的精密定位,为晶圆检测以及精度要求高的计量应用、光学检测和制造提供可靠的定位保证。
Units ZW5 ZW10 ZW15
运动行程/Travel mm 5 10 15
分辨率/Resolution nm 1 1 1
重复定位精度/Repeatabil μm ±0.02 ±0.02 ±0.02
定位精度/Accuracy μm ±0.05 ±0.05 ±0.05
平面度/Flatness of Travel μm ±0.5 ±1.0 ±1.0
直线度/Straightness of Travel μm ±0.5 ±1.0 ±1.0
俯仰,滚动,偏航误差/Pitch, Roll and Yaw arc-sec ±5 ±7.5 ±7.5
最大加速度/Max. Acceleration 9.8m/s2 0.7 0.7 0.7
最大速度/Max. Speed mm/s 75 75 75
平均速度波动/Average Speed Ripple % 0.1 0.1 0.1
位置稳定性/Position Stability counts ±1 ±1 ±1
最大负载/Max. Load Capacity kg 20 20 20
注:产品技术规格中的性能参数仅供用户参考,应以微泓的测试环境和控制器下的测试结果为准。

产品大类 支承类型 驱动构型 行程大小 反馈信号类型 限位类型
mPT SL ZW 5 LA NC
10 LD NO
解释
微米级定位产品 机械轴承 垂直楔形直驱结构 5mm 直线光栅,模拟量输出 常闭触点
10mm 直线光栅,数字量输出 常开触点
订货举例:mPT-SL-ZW5-LA-NC
我们将根据用户的应用需求,提供控制器与驱动器的配置建议。

服务热线

021-34721702

扫描添加微信