mPT-GL-S系列 | 气浮导向直驱直线运动平台

所属类别:DDL定制直驱直线运动平台

产品名称:mPT-GL-S系列 | 气浮导向直驱直线运动平台

产品标签:mPT-GL-S系列 | 气浮导向直驱直线运动平台

更新时间:2020/8/9 17:28:36

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◼ 运动行程100-500mm
◼ 定位精度±0.4μm
◼ 重复定位精度0.4μm
◼ 负载50kg
◼ 100,200,300,400和500五种规格

  mPT-GL-S系列产品是采用微泓自主研发的无铁芯直线电机驱动的气浮直线运动平台。其运动行程100-500mm,定位精度±0.4μm,重复定位精度±0.2μm,负载50kg,分辨率5nm。mPT-GL-S系列定位平台在垂直和水平面上布置空气-空气预载模块。气浮模块的气膜面设计保证气浮导轨的刚度,提高了定位平台的承载能力。气膜分布的均化效应,减小定位平台的俯仰,滚动和偏航误差,以及直线度和平面度误差。完全非接触式静压空气轴承,非接触式直线电机驱动和非接触式反馈测量装置确保微泓GL系列精密定位平台在免维护操作情况下仍能保持高性能和高稳定性。mPT-GL-S也适合在洁净环境下工作。


 应用领域
◼ 计量工程
◼ 光电子工程
◼ 半导体
◼ 平板显示
 定制信息
◼ 直线光栅
◼ 输出台面
Units S100 S200 S300 S400 S500
运动行程/Travel mm 100 200 300 400 500
分辨率/Resolution nm 5 5 5 10 10
重复定位精度/Repeatabil μm ±0.2 ±0.2 ±0.2 ±0.3 ±0.3
定位精度/Accuracy μm ±0.4 ±0.4 ±0.4 ±0.5 ±0.5
平面度/Flatness of Travel μm ±0.25 ±0.4 ±0.75 ±1.5 ±2
直线度/Straightness of Travel μm ±0.25 ±0.4 ±0.75 ±1.5 ±2
俯仰,滚动,偏航误差/Pitch, Roll and Yaw arc-sec ±1 ±2 ±3 ±4 ±5
最大加速度/Max. Acceleration 9.8m/s2 2 2 2 2 2
最大速度/Max. Speed mm/s 2000 2000 2000 2000 2000
位置稳定性/Position Stability counts 2 2 2 2 2
最大负载/Max. Load Capacity kg 50 50 50 50 50
注:产品技术规格中的性能参数仅供用户参考,应以微泓的测试环境和控制器下的测试结果为准。

产品大类 支承类型 驱动构型 行程大小 反馈信号类型 限位类型
mPT GL S 200 LA NC
300 LD NO
解释
微米级定位产品 气浮导向 单电机驱动 200mm 直线光栅,模拟量输出 常闭触点
300mm 直线光栅,数字量输出 常开触点
订货举例:mPT-GL-S100-LA-NC
我们将根据用户的应用需求,提供控制器与驱动器的配置建议。

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